Українськийیک مهندس فرآیند در یک پارچه ویفر 200 میلی‌متری، یک بار کاهش ناگهانی عملکرد قالب را به رول دستمال‌های مرطوب درهم‌تنیده‌ای که در مسیر لیتوگرافی استفاده می‌شد، ردیابی کرد. دستمال‌ها تمیز و نرم به نظر می‌رسیدند، اما تعداد ذرات مایع مشکل را آشکار کرد. در تولید نیمه هادی، برف پاک کن اتاق تمیز یک کالای تامین کالا نیست. این یک فرآیند مصرفی است که به طور مستقیم آلودگی ذرات، یونی و آلی را روی سطوحی که ویفر را لمس می کنند کنترل می کند.
پاسخ کوتاه به سوال انتخاب این است: مواد برف پاک کن را با کلاس ISO اتاق تمیز، مرحله فرآیند و شیمی تمیز کردن تطبیق دهید، سپس هر قطعه ورودی را با داده های ذرات و قابل استخراج تأیید کنید. بر اساس برند، رنگ یا قیمت هر بسته به تنهایی انتخاب نکنید.
با داده های پاکیزگی شروع کنید، نه قیمت
هندسه های نیمه هادی اکنون به محدوده نانومتری پایین می رسند و یک ذره بزرگتر از اندازه نقص بحرانی می تواند یک قالب را از بین ببرد. حوله های معمولی مغازه یا برف پاک کن های صنعتی در نزدیکی ویفر قابل قبول نیستند زیرا الیاف را می ریزند، بقایای یونی آزاد می کنند و پس از تبخیر حلال، بقایای غیرفرار باقی می گذارند.
چهار معیار یک برف پاک کن درجه نیمه هادی را تعریف می کنند:
- APC (تعداد ذرات معلق در هوا): ذرات 0.5 میکرومتر و بزرگتر و 5.0 میکرومتر و بزرگتر که در هوا رها می شوند، معمولاً در هر متر مربع گزارش می شوند. پایین تر بهتر است
- LPC (شمارش ذرات مایع): ذرات منتشر شده در آب دیونیزه یا IPA، گزارش شده در هر میلی لیتر. این مستقیم ترین پیش بینی کننده آلودگی در حین پاک کردن با حلال است.
- مواد قابل استخراج یونی: کلرید، سدیم، پتاسیم، سولفات و سایر یونها در ppm. این یون ها می توانند باعث خوردگی و تغییر ولتاژ آستانه در دستگاه ها شوند.
- NVR (بقایای غیر فرار): باقیمانده پس از تبخیر حلال، بر حسب میلی گرم بر گرم برف پاک کن گزارش شده است. NVR بالا بر روی اپتیک و ویفرها ابهام ایجاد می کند.
نمودار زیر سطوح ذرات نسبی معمولی موجود در هوا را برای خانواده‌های معمولی مواد برف پاک کن نشان می‌دهد. مقادیر برای مقایسه گویا هستند. همیشه گزارش آزمایش واقعی را از تامین کننده خود درخواست کنید.
برف پاک کن های نبافته نسبت به پلی استر بافتنی ذرات بیشتری را آزاد می کنند. آنها را از پله های مجاور ویفر دور نگه دارید.
خانواده های مواد اصلی را مقایسه کنید
برف پاک کن های بافته شده، بافتنی و نبافته همگی در کاتالوگ های اتاق تمیز ظاهر می شوند، اما ساختار بافتنی استانداردی برای تمیز کردن نیمه هادی حیاتی است. یک بافت پلی استر رشته ای پیوسته ذرات بسیار کمتری نسبت به ساختارهای بافته شده یا درهم تنیده آزاد می کند و در برابر حلال ها و اسیدهای مورد استفاده در پردازش ویفر مقاومت می کند.
| خانواده مادی | ساخت و ساز معمولی | بهترین مناسب برای | محدودیت اصلی |
|---|---|---|---|
| بافتنی 100% پلی استر | بافندگی رشته ای پیوسته، لبه های مهر و موم شده | تمیز کردن ویفر مجاور، کلاس ISO 4-6 | جذب کمتر از میکروفیبر |
| میکروفیبر فرعی polyester | بافتنی ظریف | بقایای لایه نازک و خاکهای روغنی | بررسی سازگاری با حلال های تهاجمی |
| میکروفایبر 80/20 | میکروفیبر اسپلیت پلی استر/نایلون | سطوح ابزار و تمیز کردن فاب عمومی | نایلون در صورتی که کیفیت پایینی داشته باشد می تواند بقایایی باقی بگذارد |
| بافتنی ESD polyester | پلی استر با فیبر رسانا | مراحل فرآیند حساس به استاتیک | سطح ذرات کمی بالاتر از بافتنی ساده است |
| نبافته هیدرو درهم | ترکیب سلولز و پلی استر | مناطق تعمیر و نگهداری، فرعی، بدون ویفر | تولید ذرات بالا؛ از مناطق ویفر دور نگه دارید |
برای کاربردهای رو به ویفر، یک برف پاک کن لبه مهر و موم شده با بافت 100% پلی استر ایمن ترین نقطه شروع است. محصولی مانند برف پاک کن اتاق تمیز 1009LE به شما یک خط پایه کنترل شده می دهد. تولید برف پاک کن ما در اتاق های تمیز ISO کلاس 5 و کلاس 6 اجرا می شود و تیم فنی می تواند گزارش های ذرات و قابل استخراج را برای صلاحیت ارائه دهد.
تامین کنندگان برف پاک کن سفارشی 1009LE Cleanroom، کارخانه OEM/ODM - Suzhou Jujie Electron Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd یک تامین کننده OEM/ODM 1009LE Cleanroom Cleanroom و کارخانه 1009LE Cleanroom Wiper است، ما در زمینه تخصصی... مشاهده محصول → برف پاک کن را با کلاس ISO و Process Zone مطابقت دهید
یک فابریک می تواند از سه برف پاک کن مختلف در سه منطقه مختلف استفاده کند. قانون ساده است: برف پاک کن باید تمیزتر از محیطی باشد که در آن استفاده می شود، زیرا پاک کردن می تواند ذرات را دوباره روی سطح رسوب کند.
- ISO کلاس 4-5 (لیتوگرافی، اچ، رسوب): از بافتنی 100% پلی استر با لبه های مهر و موم شده و LPC مستند در 0.5 میکرومتر و بالاتر استفاده کنید. هرگز از برف پاک کن های نبافته در این مناطق استفاده نکنید.
- کلاس ISO 6 (پیست، مترولوژی، EFEM، پورت های بار): گره پلی استر یا گره ESD، بسته به حساسیت استاتیکی مرحله.
- کلاس ISO 7-8 (نگهداری تجهیزات، زیر پارچه، قسمت های روپوش): میکروفیبر یا برف پاک کن های بافته شده هزینه را کنترل می کنند و در عین حال تمیز کردن قابل اعتمادی را ارائه می دهند.
هنگامی که کار حذف بقایای آلی از بیرون ابزار در نواحی کلاس ISO 7 است، برف پاک کن میکروفیبر JW08522 به طور قابل توجهی مایعات بیشتری را نسبت به بافتنی استاندارد جذب می کند که زمان تمیز کردن را کوتاه می کند و مصرف مواد شیمیایی را کاهش می دهد.
تامین کنندگان برف پاک کن میکروفیبر سفارشی JW-08522، کارخانه OEM/ODM - Suzhou Jujie Elect شرکت Suzhou Jujie Electron با مسئولیت محدود یک تامین کننده برف پاک کن میکروفیبر OEM/ODM چینی JW-08522 و کارخانه برف پاک کن میکروفیبر JW-08522 است، ما متخصص ... مشاهده محصول → نمودار خطی زیر نشان می دهد که چرا تکنیک و کیفیت لبه اهمیت دارد. یک برف پاک کن بافتنی که به خوبی مهر و موم شده است، پس از چند ضربه به حالت پایدار می رسد. یک برف پاک کن لبه بریده برای مدت طولانی تری در سطح بالاتری ریزش می کند.
اولین ضربه ها همیشه بیشترین ذرات را آزاد می کنند. یک لبه مهر و موم شده هم سطح پیک و هم سطح حالت پایدار را پایین می آورد.
آب بندی لبه: یک جزئیات کوچک با یک اثر بزرگ
لبه های بریده منبع اصلی الیاف شل در یک برف پاک کن اتاق تمیز هستند. وقتی تیغه ای از پارچه بافتنی تکه تکه می شود، حلقه ها را باز می کند و انتهای رشته ها را می گذارد که می توانند در حین پاک کردن جدا شوند. آب بندی لبه با گرما، جوشکاری اولتراسونیک یا ذوب لیزری این رشته ها را به دام می اندازد و آنها را از فرآیند دور نگه می دارد.
- از لبه های مهر و موم شده با لیزر یا اولتراسونیک برای ایزو کلاس 5 و کاربردهای پاک کننده استفاده کنید.
- بررسی کنید که لبه مهر و موم شده انعطاف پذیر بماند. لبه سفت می تواند اپتیک و سطوح صیقلی را خراش دهد.
- لبه را تحت بزرگنمایی در طول صلاحیت بررسی کنید و داده های ذرات لبه را درخواست کنید.
برای جزئیات بیشتر در مورد اینکه چرا انتشار ذرات حتی با یک برف پاک کن خوب اتفاق می افتد، نگاه کنید تجزیه و تحلیل ما در مورد اینکه چرا یک برف پاک کن اتاق تمیز در حین پاک کردن ذرات آزاد می کند .
کنترل ESD را در جایی که استاتیک یک خطر است اضافه کنید
یک برف پاک کن می تواند در حین لغزش روی سطح، بار ساکن ایجاد کند. در یک ویفر، این شارژ می تواند به اکسیدهای گیت آسیب برساند یا ذرات معلق در هوا را به همان ناحیه ای که تمیز می کنید جذب کند. برف پاک کن های ESD با درصد کمی از فیبر رسانا، معمولاً پلی استر با کربن، گره خورده اند که وقتی اپراتور از طریق بند مچ و تشک به زمین متصل می شود، شارژ را به زمین تخلیه می کند.
از برف پاک کن ESD در مناطق انتقال ویفر، پورت های بار، جابجایی شبکه، ابزار اندازه گیری و هر جایی که یک دستگاه حساس بدون پشتیبانی نشسته است، استفاده کنید.
هنگامی که برف پاک کن ها را برای این مناطق واجد شرایط می کنید، یک درجه ESD را در آزمایشی قرار دهید. را برف پاک کن اتاق تمیز ESD از همان سری می توان با یک بافتنی استاندارد برای عملکرد تجزیه ذرات و بار مقایسه کرد.
تامین کنندگان سفارشی برف پاک کن ESD، کارخانه OEM/ODM - Suzhou Jujie Electron Co.,Ltd شرکت Suzhou Jujie Electron با مسئولیت محدود یک تامین کننده OEM/ODM ESD برف پاک کن و کارخانه ESD برف پاک کن چینی است، ما در برف پاک کن سفارشی ESD و سایر محصولات متخصص هستیم. مشاهده محصول → قبل از اینکه متعهد شوید، تامین کننده را بررسی کنید
برگه داده فقط به شما می گوید که تامین کننده چه چیزی را اندازه گیری کرده است، نه اینکه چه چیزی را کنترل می کند. از آنجایی که برف پاک کن همان سطوحی را لمس می کند که ویفر را لمس می کند، یکپارچگی لات به لات نیاز واقعی است. از این چک لیست در حین صلاحیت تامین کننده استفاده کنید:
- ساخت اتاق تمیز: برف پاک کن باید شسته، خشک شود، مهر و موم شود و در یک اتاق تمیز حداقل به اندازه منطقه فرآیند خود تمیز شود.
- قابلیت ردیابی لات: هر لات باید دارای تعداد زیادی و یک گزارش آزمایشی باشد که APC، LPC، مواد قابل استخراج یونی و NVR را پوشش دهد.
- سازگاری با حلال: قبل از تایید، برف پاک کن را از نظر IPA، استون و هر ترکیب شیمیایی که استفاده می کنید بررسی کنید.
- یکپارچگی بسته بندی: پلی اتاق تمیز دو کیسه ای حداقل است. تابش گاما را فقط در صورت نیاز به عقیمی اضافه کنید.
- اطلاعیه تغییر: از تامین کننده بخواهید که شما را از هرگونه تغییر در مواد اولیه، مواد شوینده، روش برش یا فرآیند آب بندی مطلع کند.
اگر می خواهید این مراحل را به مشخصات برف پاک کن رسمی تبدیل کنید، با تیم مواد مصرفی اتاق تمیز ما تماس بگیرید با کلاس ISO، حلال تمیزکننده و مرحله فرآیند، و ما به شما کمک می کنیم درجه برف پاک کن را با مشخصات ریسک مطابقت دهید.
سوالات متداول
آیا می توانم از همان برف پاک کن برای لیتوگرافی و نگهداری زیر فاب استفاده کنم؟
خیر. برف پاک کن های رو به ویفر را جدا از برف پاک کن های نگهداری نگه دارید. برف پاک کن های نبافته هیدرودریچ شده برای کف و قاب تجهیزات مناسب هستند، اما هرگز نباید در لیتوگرافی، اچ یا هر منطقه ای که ویفر در معرض آن قرار می گیرد استفاده شود.
آیا قیمت بالاتر نشانه تمیزی بهتر است؟
نه همیشه. قیمت اغلب منعکس کننده بسته بندی و موقعیت برند است. برف پاک کن را بر اساس ذرات و داده های قابل استخراج قضاوت کنید، نه بر اساس قیمت. یک بافتنی پلی استر لبه مهر و موم شده با قیمت متوسط می تواند از یک محصول درجه یک در شیمی خاص شما بهتر عمل کند.
آیا در اتاق تمیز نیمه هادی به برف پاک کن های استریل نیاز دارم؟
عقیمی نگرانی اصلی در تولید ویفرها نیست. تعداد ذرات است. برف پاک کن های استریل در درجه اول یک نیاز دارویی و تجهیزات پزشکی هستند. اگر برف پاک کن های استریل را انتخاب می کنید، تأیید کنید که روش استریل کردن ساختار بافتنی را تخریب نمی کند یا مواد قابل استخراج را افزایش نمی دهد.
هر چند وقت یکبار باید بعد از تغییر تامین کننده دوباره واجد شرایط باشم؟
هر زمان که تامین کننده مواد خام، ساخت و ساز، آب بندی لبه ها، مواد شوینده یا خط بسته بندی را تغییر دهد، دوباره واجد شرایط شوید. حتی تغییر در کیفیت آب شستشو می تواند مواد قابل استخراج یونی را تا حد زیادی تغییر دهد. یک صلاحیت مجدد مستند از فرآیند محافظت می کند و یک مسیر حسابرسی ایجاد می کند.
اتخاذ تصمیم نهایی
برف پاک کن مناسب اتاق تمیز برای تولید نیمه هادی، برف پاک کن مناسبی است که محدودیت های فرآیند شما را برای ذرات، یون ها و باقیمانده ها برآورده می کند، با کلاس ISO منطقه مطابقت دارد، در برابر مواد شیمیایی تمیز کردن شما مقاومت می کند و از طرف تامین کننده ای است که می تواند ثبات زیادی به لات را ثابت کند. لبه های مهر و موم شده را انتخاب کنید که در آن الیاف در معرض خطر هستند، و ساخت و ساز ESD که در آن ایستا یک خطر است. با چارچوب بالا، خرید برف پاک کن به جای خرید معمولی، به یک تصمیم فرآیند کنترل شده تبدیل می شود.
